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表面沈降粒子檢測儀APMON

基本信息
産地:荷蘭
訂貨量:≥1台
價格:請咨詢在線客服
型号:荷兰 APMON 表面沈降粒子檢測儀
品牌:APMON

APMON表面沈降粒子檢測儀的工作原理

檢測設備采用一定面積的內置玻璃板承載墜落顆粒,玻璃板以45度角放置,這樣墜落的顆粒在玻璃板上沈積的過程就會被全部檢測到,APMON檢測儀對大于20μm的沈積顆粒的數量和尺寸以及在傳感器上的分布位置進行測量,通過測量得出平均顆粒沈積率。

測量的數據能夠幫助解決潔淨室常規手段監控不到的汙染成分,並能幫助優化用戶的生産流程。

当产品突发性不良率上升时,首先会怀疑洁净室的空气洁净度,使用尘埃粒子計數器进行检测是常规作法。如果测量结果正常,就要进行更进一步的调查。

通過對表面潔淨度和粒子沈降的測量顯示很多顆粒的尺寸大于50μm或100μm,而這些大尺寸顆粒的來源通常是操作者和潔淨室不潔淨的表面,一般尺寸大于25μm的墜落顆粒是不能通過潔淨室空氣循環系統排出的。

沈降粒子的來源:人員産生粒子、攜帶高濃度粒子、散發粒子;設備和物料産塵或表面存在粒子;潔淨室材料表面存在粒子等,通過改善個人行爲、更衣流程、培訓、清潔生産加工設備、清潔工具和潔淨室,可明顯降低不良品率。

APMON表面沈降粒子監測儀主要包括以下部分:

設備主體     傳感器

玻璃板托盤

APMON表面沈降粒子檢測儀的工作原理:檢測設備采用一定面積的內置玻璃板承載墜落顆粒,玻璃板以45度角放置,這樣墜落的顆粒在玻璃板上沈積的過程就會被全部檢測到,APMON檢測儀對大于20μm的沈積顆粒的數量和尺寸以及在傳感器上的分布位置進行測量,通過測量得出平均顆粒沈積率。

測量的數據能夠幫助解決潔淨室常規手段監控不到的汙染成分,並能幫助優化用戶的生産流程。

 

APMON表面沈降粒子檢測儀的工作原理 主要技术参数如下

參數    型號

APMON

可檢測粒子範圍

20μm~1000μm

測量表面

25cm²

PDR(顆粒沈降率)

99%置信區間±6%

儲存數據

10000組

設備連接傳感器的最大數量

以太網連接 6個

藍牙連接 2個